Южный федеральный университет
Инженерно-технологическая академия
Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения
Кафедра нанотехнологий и микросистемной техники
 
ЮФУ ИТА ЮФУ ИНЭП
О кафедре
Учебная работа
Научная работа

Смирнов Владимир Александрович

доцент


Область научных интересов - cканирующая зондовая микроскопия, фотонностимулированные физико-химические процессы технологии микро- и наноэлектроники, разработка и исследование технологических процессов изготовления элементной базы приборов наноэлектроники.

Основные публикации

  • Агеев О.А., Смирнов В.А. Нанолитография методом локального анодного окисления полупроводников и металлов // Известия ТРТУ, 2005, №9, с. 97
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Светличный А.М., Смирнов В.А. Зондовая фотонно-стимулированная нанолитография структур на основе пленки титана // Микроэлектроника, Том 36, № 6, 2007. - С. 403-408
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Светличный А.М., Смирнов В.А. Исследование режимов фотонностимулированной зондовой нанолитографии методом локального анодного окисления пленки титана // Нано- и микросистемная техника. – 2008. – №1. – С. 1-3.

Методические разработки

  • Агеев О.А., Федотов А.А., Смирнов В.А, Гусев Е.Ю. Руководство к выполнению лабораторных работ по курсам: "Зондовые технологии наноэлектроники", "Технологические процессы микро- и наноэлектроники", "Материалы и методы нанотехнологии". Часть I, Изд-во: ТТИ ЮФУ, 2007. - 38 с.
  • Агеев О.А., Федотов А.А., Смирнов В.А, Гусев Е.Ю. Руководство к выполнению лабораторных работ по курсам: "Зондовые технологии наноэлектроники", "Технологические процессы микро- и наноэлектроники", "Материалы и методы нанотехнологии". Часть II, Таганрог, Таганрог, Изд-во: ТТИ ЮФУ, 2007. - 39 с.

Читаемые курсы

  • Технология ЭВС (210202)

© 2004-2014 НТ МСТ

Адрес: 347928, г. Таганрог, ГСП-17А, пер. Некрасовский, 44, ТТИ ЮФУ, каф. НТ МСТ
Тел. (8634)37-16-11, (8634)37-19-40
E-mail: tmina@fep.tti.sfedu.ru