Taganrog Institute of Technology - Southern Federal University
College of Electronics and Electronic Equipment Engineering
Department of Micro- and Nanoelectronics
 
SFedU TIT SFedU CEEE
M&NE

Агеев Олег Алексеевич

доктор технических наук, профессор
заведующий кафедрой


Область научных интересов - стимулированные фотонным, ионно- и электронно-лучевым воздействием физико-химические процессы технологии микро- и наноэлектроники; разработка и исследование технологических процессов изготовления элементной базы приборов наноэлектроники; твердофазные процессы в полупроводниках и диэлектриках при импульсной термообработке некогерентным излучением и электронно-лучевыми потоками; разработка и исследование технологических процессов формирования контактов к активным элементам приборов экстремальной электроники.

Опубликовано 125 научных работ, имеет 4 авторских свидетельства и патента на изобретения.

Основные публикации

  • Агеев О.А., Беляев А.Е., Болтовец Н.С., Конакова Р.В., Миленин В.В., Пилипенко В.А. Фазы внедрения в технологии полупроводниковых приборов и СБИС. - Харьков: НТК “Институт монокристаллов”, 2008. - 392 с.
  • Агеев О.А., Достанко А.П., Толочко Н.К., Бордусов С.В. Интенсификация процессов формирования твердотельных структур концентрированными потоками энергии. - Минск: Бестпринт, 2005. 682 с.
  • Агеев О.А. Проблемы технологии контактов к карбиду кремния. – Таганрог. Изд-во ТРТУ, 2005. – 250 с.
  • Агеев О.А. Быстрая термообработка некогерентным ИК-излучением контактов к карбиду кремния. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2003. – 128 с.
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Светличный А.М., Смирнов В.А. Зондовая фотонно-стимулированная нанолитография структур на основе пленки титана // Микроэлектроника, Том 36, № 6, 2007. - С. 403-408
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Светличный А.М., Смирнов В.А. Исследование режимов фотонностимулированной зондовой нанолитографии методом локального анодного окисления пленки титана // Нано- и микросистемная техника. – 2008. – №1. – С. 1-3.
  • Литвинов В.Л., Демаков К.Д., Агеев О.А., Светличный А.М., Конакова Р.В., Литвин П.М., Литвин О.С., Миленин В.В. Особенности формирования и характеристики диодов Шоттки Ni/21R-SiC // Физика и техника полупроводников. 2003, т.37, в.4., с.473-478.
  • Агеев О.А. Термодинамический анализ твердофазных взаимодействий в контактах Ni/SiC //Известия вузов. Электроника. 2005. №2. С. 42 ? 48.
  • Agueev O.A., Svetlichny A.M., Soloviev S.I. Simulation of incoherent radiation absorption in 3C-, 6H- and 4H-SiC at rapid thermal processing // Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics. 2000, v.3, no.3, p.379-382.
  • Litvinov V.L., Demakov K.D., Agueev O.A., Svetlichnyi A.M., Konakova R.V., Lytvyn P.M., Lytvyn O.S., Milenin V.V. Evolution of structural and electrophysical parameters of Ni/SiC contacts at rapid thermal annealing // Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 2002, vol. 5, №4, p. 457 ? 464.
  • Agueev O.A., Avdeev S.P., Svetlichnyi A.M., Konakova R.V., Milenin V.V., Lytvyn P.M., Lytvyn O.S., Okhrimenko O.B., Soloviev S.I., Sudarshan T.S. Surface preparation of 6H-SiC substrates by electron beam annealing // Materials Science Forum, vol. 483-485 (2005), p. 725 ? 728.
  • Litvinov V.L., Demakov K.D., Agueev O.A., Svetlichnyi A.M., Konakova R.V., Lytvyn P.M., Milenin V.V. Investigation of the Effect of Rapid Thermal Annealing Modes on the Parameters of Ni/21R-SiC Contact // Materials Science Forum, vol. 389-393 (2002), p. 905 ? 909.

Методические разработки

Читаемые курсы

  • Методы исследования материалов и структур электроники (210104)
  • Экспериментальные методы исследования и метрология (210601)
  • Методы диагностики и анализа микро- и наносистем (210601)
  • Зондовые технологии (210601)
  • Процессы нанотехнологии (210600)
[an error occurred while processing this directive]