Taganrog Institute of Technology - Southern Federal University
College of Electronics and Electronic Equipment Engineering
Department of Micro- and Nanoelectronics
 
SFedU TIT SFedU CEEE
M&NE

Технологические процессы микро- и наноэлектроники (ТПМиНЭ)

Краткое описание курса

Технологические методы формирования гибридно-пленочных и полупроводниковых интегральных микросхем, микросборок и микропроцессоров.

Цели и задачи курса

Ознакомление с технологией изготовления изделий микроэлектроники; Ознакомление с технологическим оборудованием для производства МЭ изделий.

Содержание курса

  1. Методы пленочной технологиипроизводства ИМС;
  2. Основные методы формирования полупроводниковых ИМС;
  3. Формирование рисунка ИМС;
  4. Методы изоляции в конструкциях ИМС;
  5. Методы монтажа и сборки ИМС и МЭ изделий.

Литература

  1. Л.А. Коледов. Технология и конструкции микросхем, микропроцессоров и микросборок. М. Радио и связь.1989г.
  2. З.Ю. Тотра. Технология микроэлектронных устройств. М. Радио и связь. 1992г.
  3. А.С. Наумченко, Д.А. Сеченов. Гибридизация МЭ аппаратуры. Учебное пособие. Таганрог. 2003г. 64с.
  4. Методические указания по выполнению курсового проекта "Технологические процессы МЭ". Таганрог. ТРТУ. №2591. 1998г.
  5. Руководство к лабораторным работам по курсу "Технология РЭС" ч. I. №3446. 2003г.

Структура курса

Семестр

7

Лекции

72 час. (2 лекции в неделю)

Практические занятия

нет

Лабораторные работы

18 час.

Индивидуальные занятия

18 час.

Курсовые работы, проекты

КП

Самостоятельная работа

час.

Всего учебных занятий
по дисциплине

час.

Итоговый контроль

экзамен

Преподаватель:  Наумченко А.С.

[an error occurred while processing this directive]