Taganrog Institute of Technology - Southern Federal University
College of Electronics and Electronic Equipment Engineering
Department of Micro- and Nanoelectronics
 
SFedU TIT SFedU CEEE
M&NE

Технология материалов электронной техники (ТМЭТ)

Краткое описание курса

Курс содержит вопросы организации производства электронных приборов и устройств. Технологической гигиены производства. Классификация загрязнений и их источников. Методы очистки материалов и элементов электронных приборов и устройств: сорбционные, процессы экстракции, кристаллизации, сублимации, дистилляции, ректификации, химического транспорта и т.д. Механические методы формообразования элементов электронных приборов. Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов. Технология соединения материалов.

Цели и задачи курса

Овладение научными и практическими знаниями в области электронных материалов и их подготовки к производству приборов. Изучение технологических процессов изготовления деталей электровакуумных и полупроводниковых приборов.

Содержание курса

  1. Понятие о технологии электронных приборов. Требования предъявляемые к конструкциям электронных приборов.
  2. Понятие о чистом веществе. Характеристика и классификация методов очистки.
  3. Методы очистки сорбцией.
  4. Дробная кристаллизация. Принцип очистки кристаллизацией.
  5. Технологические процессы в электровакуумном производстве.
  6. Очистка поверхности. Классификация методов очистки поверхности.
  7. Химические методы очистки поверхности.
  8. Технология нанесения покрытий. Контроль покрытий.
  9. Механические методы формообразования элементов электронных приборов.

Литература

  1. Иориш А.Е. и др. Основы технологии производства электронных приборов. Л.: Энергия, 1971.
  2. Курносов А.И. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Уч. пособие для вузов. М.:ВШ, 1986.
  3. Тилл У. Лаксон Дж. Интегральные схемы. Материалы, приборы, изготовление. М.: Мир, 1985.

Структура курса

Семестр

7

Лекции

51 час. (3 лекции в 2 недели)

Практические занятия

нет

Лабораторные работы

17 час.

Индивидуальные занятия

17 час.

Самостоятельная работа

34 час.

Всего учебных занятий
по дисциплине

119 час.

Итоговый контроль

экзамен

Преподаватель:  Авдеев С.П.

[an error occurred while processing this directive]