Taganrog Institute of Technology - Southern Federal University
College of Electronics and Electronic Equipment Engineering
Department of Micro- and Nanoelectronics
 
SFedU TIT SFedU CEEE
M&NE

Технология выращивания кристаллов (ТВК)

Краткое описание курса

Курс содержит общие сведения о полупроводниках и их классификацию, общие правила обрашения с чистыми веществами, технологию получения поликристаллических полупроводников, технологию получения монокристаллов простых и сложных полупроводников, технологические методы подготовки полупроводниковых подложек.

Цели и задачи курса

Овладение научными и практическими знаниями в области вырашивания кристаллов. Изучение технологических процессов получения полупроводниковых материалов и монокристаллов.

Содержание курса

  1. Общие сведения о полупроводниках, классификаци, типах кристаллических решеток.
  2. Основные понятия и определения фазового состояния равновесных систем. Физико-химические свойства основных полупроводников.
  3. Обращение с чистыми веществами. Подготовка основных и вспомогательных материалов.
  4. Получение поликристаллического германия и кремния.
  5. Получение поликристаллических полупроводниковых соединений.
  6. Процессы роста монокристалла.
  7. Методы выращивания монокристаллов.
  8. Подготовка и резка монокристаллов на пластины. Подготовка поверхности пластин к формированию на ней электронных структур.

Литература

  1. Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов. М.: Метал-лургия., 1987, 336 с.
  2. Таиров Ю.М., Цветков Н.Ф. Технология полупроводниковых и диэлектриче-ских материалов: Учебник для студентов ВУЗов. М.: Высшая школа, 1983.
  3. Запорожский В.П., Лапшинов Б.А. Обработка полупроводниковых материа-лов. М.: Высшая школа, 1988, 182 с.
  4. Металлургия и технология полупроводниковых материалов. Под ред. Б.А. Сахарова. М.: Металлургия., 1972, 336 с.
  5. В. Пфанн Зонная плавка. М.: Мир, 1970, 366 с.
  6. А. И. Курносов Материалы для полупроводниковых приборов и интеграль-ных микросхем. М.: Высшая школа, 1980

Структура курса

Семестр

7

Лекции

36 час. (1 лекции в неделю)

Практические занятия

18 час. (1 занятие в 2 недели)

Лабораторные работы

нет

Индивидуальные занятия

нет

Самостоятельная работа

30 час.

Всего учебных занятий
по дисциплине

84 час.

Итоговый контроль

зачет

Преподаватель:  Авдеев С.П.

[an error occurred while processing this directive]