УДК 621.382
КОНОПЛЕВ Б.Г.
ИССЛЕДОВАНИЯ И РАЗРАБОТКИ
НОЦ "НАНОТЕХНОЛОГИИ" ТРТУ В ОБЛАСТИ
НАНОЭЛЕКТРОНИКИ И НАНОМЕХАНИКИ
Таганрогский государственный радиотехнический университет,
347928, Россия, Таганрог, ГСП-17а, пер. Некрасовский, 44
e-mail: fep@tsure.ru
С целью интеграции научных исследований и образовательных
программ по направлению "Нанотехнология" в 2003 г. был создан На-
учно-образовательный центр "Нанотехнологии" (НОЦ НТ) Таганрог-
ского государственного радиотехнического университета (ТРТУ) в
составе трех лабораторий (микро- и наносистем, материалов и техно-
логий, оптоэлектроники) и технологической гермозоны.
В 2003-2006 г.г. за счет грантов и инновационных проектов для
НОЦ НТ было приобретено оборудование на сумму более 18 млн. руб.
(сканирующие микроскопы Solver P47 и Nanoeducator, комплекс На-
нофаб НТК-4 и др.). В 2006-2008 г.г. в рамках инновационного образо-
вательного проекта запланировано приобретение оборудования для
НОЦ НТ на сумму около 160 млн. руб. В 2005 г. в составе НОЦ НТ
образован дизайн-центр.
На базе НОЦ НТ проходят подготовку студенты по специально-
стям "Нанотехнология в электронике" и "Микросистемная техника", а
также магистранты по направлению "Нанотехнология". Объем
НИОКР, выполняемых в НОЦ НТ, составляет около 19 млн. руб. в год.
Ниже приведены основные направления исследований и разра-
боток, проводимых в НОЦ НТ ТРТУ:

Элементная база микро- и наноэлектроники, молекулярной
электроники и квантовых компьютеров
- приборы и технологические процессы наноэлектроники и мо-
лекулярной электроники;
- приборно-технологическое моделирование в наноэлектронике;
- разработка и исследование элементов сверхбольших инте-
гральных схем с размерным квантованием энергии;
- технологии с атомным разрешением и элементная база кванто-
вых компьютеров и вычислительных клеточных структур;
- исследование энергетического строения гетероструктур с на-
норазмерными слоями;
- исследование параметров квантовых ям на границах слоев на-
ногетероструктур;
- исследование процессов массопереноса и переноса носителей
зарядов в наногетероструктурах;

- разработка методов контроля электрофизических свойств на-
ногетероструктур;
- разработка специализированных интегральных схем и микро-
систем.

Нанотехнология в наноэлектронике
- планарные технологии с нанометровым разрешением;
- технологии формирования трехмерных наноструктур;
- зондовые нанотехнологии;
- фотонно-стимулированные процессы формирования нанораз-
мерных структур и наноструктурированных пленок.

Микро- и наносистемная техника
- микро- и наноаналитические системы состава жидких и газо-
вых сред;
- микро- и наноэлектрооптикомеханические системы преобразо-
вания физических величин;
- датчики на основе наноструктурированных широкозонных по-
лупроводников.


Document Outline