АЛЕХИН А.П., Д.Т.Н.
НЕКОТОРЫЕ АСПЕКТЫ РАЗВИТИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ
БАЗЫ ДЛЯ ИЗДЕЛИЙ НАНО-МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ
И МЕДИЦИНСКОГО МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЯ
ГНЦ ФГУП НИИ физических проблем им.Ф.В.Лукина,
Москва, Зеленоград
Объединение нанотехнологий и микроэлектромеханических
систем (MЭMС) объективно необходимо в связи с общей тенденцией
уменьшения характерных размеров элементной базы. Это объединение
ведет к появлению интеллектуальных микро- и нанороботов для всех
областей деятельности человека (военной, промышленной, медицин-
ской, социальной и т.д.).
Микромеханика как многофункциональная микротехнология
основана, во-первых, на обычной кремниевой технологии, включаю-
щей фотолитографию, поверхностную и объемную обработку крем-
ния, изотропное и анизотропное травление, модифицированные для
глубокой обработки процессы реактивного травления, во-вторых, на
мембранных технологиях. На примере технологических вариантов
изготовления микродатчиков мембранного типа и кантилеверов для
зондовой микроскопии балочного типа обозначены особенности по-
верхностных и объемных процессов.
Однако, более широкие возможности, высокую эффективность
и низкую стоимость промышленного производства микромеханиче-
ских систем обеспечивает так называемая LIGA-технология. Посколь-
ку в LIGA-технологии применяется глубокая литография (с экспони-
рованием чувствительного слоя на большую глубину: от десятков до
сотен микрон), то для осуществления такого процесса необходимо же-
сткое рентгеновское излучение ( = 0,1-0,5 нм). Рассмотрены примеры
использования LIGA-технологии для создания ряда микромеханиче-
ских устройств с учетом характеристических особенностей синхро-
трона Зеленоград и его технологической инфраструктуры.
По нашему мнению, развитие микромеханики невозможно без
учета соответствующих работ в области нанотехнологий и, в частно-
сти, наноэлектроники. Действительно, разработанная технология роста
углеродных материалов позволяет практически реализовать такие из-
делия наноэлектроники, как автоэмиссионные катоды дисплеев разме-
рами 5х5 см2, умножитель потока электронов ЭОП, запоминающие
среды терабитных запоминающих устройств с ускоренным считыва-
нием информации, аналоги вакуумных ламп и транзисторов в нано-
масштабном исполнении.
Другой пример использования комплексного подхода к ре-
шению задач, названных в данной работе, лежит в области медицин-

ского материаловедения. Разработана технология формирования кла-
стерного углерода размерами 5-200 нм, позволяющая значительно
улучшить гемосовместимые свойства поверхностей медицинских по-
лимеров. Методами сканирующих электронной и зондовой микроско-
пий, оптической и рамановской спектроскопий доказано образование
углеродных покрытий в виде кластеров различной электронной струк-
туры с размерами нанометрового диапазона. Измерение краевого угла
смачивания поверхностей синтезированных наноструктур указывает
на образование мозаичных гидрофильно-гидрофобных структур, обла-
дающих улучшенными гемосовместимыми свойствами.

Работа выполнена при поддержке Российского фонда фунда-
ментальных исследований - проект 05-03-32394



Document Outline