УДК 539.23: 538.9
АВЕРИН И.А., ПЕЧЕРСКАЯ Р.М.
ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК
МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ СИСТЕМ С
КОНТРОЛИРУЕМЫМИ СВОЙСТВАМИ
ГОУ ВПО Пензенский государственный унверситет,
440026, Россия, Пенза, улица Красная, дом 40
Свойства многокомпонентных систем определяются типом и
концентраций собственных дефектов, которые задаются методом по-
лучения, технологическими режимами и действием внешних факторов.
Разработана технологии контролируемого и управляемого синтеза
многокомпонентных систем на примере проводниковых ( Ni Cr ,
x
-
1 x
Х20Н75Ю), полупроводниковых ( PbS , PbSе , PbS Se ) и диэлек-
1- х
х
трических ( PbTi Zr O ) соединений с использованием квазихимиче-
1-x
x
3
ского подхода, позволяющего описать свойства материалов в зависи-
мости
от
степени
отклонения
состава
от
стехиометрии.
Дефектообразование представлено в виде квазихимических реакций,
для которых определены условия протекания, энтальпии и энтропии
процессов образования и заполнения дефектов.
Особенно важны для исследования с точки зрения структуры и
свойств конденсированных систем ранние стадии роста - зародышеоб-
разование. Оно характеризуется образованием критических зароды-
шей. Их размеры определяются величиной свободной энергии, скоро-
стью образования зародышей, зависящей от поверхностной энергии,
пересыщения, энергией адсорбции и диффузии адсорбированных ато-
мов, задаваемых степенью отклонения метода получения от условий
равновесия. В настоящей работе определены основные параметры за-
рождения и роста пленок многокомпонентных систем, описаны и смо-
делированы как процесс формирования материалов, полученных при
различных технологических режимах, так и их свойства.
Результативность управления свойствами многокомпонентных
систем и их временной стабильностью повышается при комплексном
использовании выбранных технологических режимов синтеза для дос-
тижения заданных свойств материалов и дозированного действия
внешних дестабилизирующих факторов. Наиболее эффективными из
последних являются: облучение рентгеновскими лучами с различной
поглощенной дозой и отжиг в среде кислорода. Результат их действия
на многокомпонентные системы заключается в уменьшении разброса
электропроводности сегнетокерамики типа титанат-цирконат свинца,
полученной по единой стандартной технологии, от 3 до 7 раз и коэф-
фициента старения сопротивления пленочных резисторов на основе
хромоникелевых сплавов в (103 - 1,5.104) раз.

Технология управляемого синтеза многокомпонентных систем
положена в основу изготовления приборов функциональной электро-
ники, таких как фотоэлектрические преобразователи на основе p - n -
переходов, барьеров Шоттки, пленочные резисторы для чувствитель-
ных элементов преобразователей информации.




Document Outline