УДК 628.16:669.013.5
ПЕТРОВ В.В., КОПЫЛОВА Н.Ф.,
поверхностное сопротивление и толщина пленок.
НАЗАРОВА Т.Н.
Визуально пленки имели ровную блестящую поверхность без

видимых следов дефектов. Измерение толщины пленок проводилось при
ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ
помощи микроинтерферометра Линника. Так, значение толщины пленок,
ТОНКИХ ПЛЕНОК СОСТАВА Si(SnO)
легированных серебром, находится в пределах 0,07--0,04 мкм и

уменьшается при повышении температуры отжига.
Таганрогский государственный радиотехнический университет,
Поверхностное сопротивление оценивалось с помощью тераомметра
347928, Россия. г. Таганрог, ГСП-17а, ул. Чехова, 2, к. И-212,
Е6-13А. Для проведения измерений на пленке формировались индиевые
р.т.(863-44)+6-16-24, vvpetrov@fib.tsure.ru
контакты. Измерения проводили на воздухе при комнатной температуре.

Диапазон измеренных сопротивлений пленок находился в пределах - от
Оксид
олова (1V) является
основным
материалом
106 до 1011 Ом·см.
газочувствительных
пленок
химических
сенсоров
газа.
Тонкие
Поверхностное сопротивление полученных пленок возрастало с
газочувствительные пленки (0,1-1,0 мкм) получают различными методами,
повышением температуры отжига и достигло значения 1011 Ом·см
из которых наиболее широко применяемыми и легко реализуемыми
(8600С), в то время как образцы, обработанные ИТО имели такое же
являются химические методы. Они не требуют специального и сложного
сопротивление при температуре 7000С. Меньшим поверхностным
оборудования. Используя их, можно варьировать химический состав
сопротивлением обладали пленки, полученные из растворов с добавлением
пленок в широких пределах [1].
солей серебра 106 Ом·см. Их поверхностное сопротивление оставалось
Пленки SnO2 могут быть получены из водноспиртовых растворов
постоянным при увеличении температуры отжига.
хлоридов, гидроксидов [2] и кремнийорганических соединений олова [1,3]
Таким образом, проведенные исследования показали, что толщины
нанесением на различные подложки: кремниевые, ситалловые и на
пленок не превышают 0,1мкм. Поверхностное сопротивление пленок
сформированную ранее пленку SiO2 [4].
изменяется в пределах 106--1011 Ом·см и зависит от состава растворов, из
Целью данной работы является получение тонких пленок состава
которых они получены, температуры и вида отжига.
Si(SnO2) гидролизом пленкообразующих растворов.

Пленкообразующие растворы состояли из тетраэтоксисилана
1. Бубнов Ю.З. Металлооксидные газовые микросенсоры. Петербургский
(ТЭОС), изобутилового спирта, бидистиллированной воды и SnCl4. В
журнал электроники.--1, 1997. С.59-62.
некоторые растворы добавляли соли серебра. Содержание всех
2. Зиновьев К.В., Вихлянцев О.Ф., Грибов Б.П. Получение окисных
компонентов в растворах было неизменным в соответствии с
пленок из растворов и использование их в электронной технике.
соотношением ТЭОС:(спирт + вода)--1:7 по объему. Соли серебра
ЦНИИ Электроника. -М.--1974, ВЫП.13.с.62.
добавляли в раствор из расчета 0.01% по массе. После смешивания
3. Суйковская Н.В. Химические методы получения тонких прозрачных
компонентов растворы созревали в течение 6 часов при температуре 15-
пленок./Химия.1971.с.200.
180С. Созревание растворов наблюдалось по изменению вязкости [2].
4. Маслов Л.П., Румянцев В.Д., Ермуратский П.В. Пленочные
Хлорид олова выполнял функции катализатора для ускорения процесса
химические сенсоры токсичных газов и паров. Приборы и системы
созревания растворов. Исследуемые пленки наносились на кремниевые
управления, 1997. 1, с.29-31.
подложки, предварительно обезжиренные в кипящем изопропиловом

спирте, методом центрифугирования. Частота вращения центрифуги
составляла (1-4)103 об/мин. После нанесения пленки высушивались при
температуре 1200С в течение 2-6 часов. В дальнейшем проводился
термический отжиг при температурах 370 - 8600С в течение 1-5 часов.
Некоторые образцы были подвергнуты импульсному термическому отжигу
(ИТО) при температурах 550 и 7000С в течение 10с.
Качество полученных пленок оценивалось визуально, измерялось их