УДК 621.382
АСЕССОРОВ В.В., КОЖЕВНИКОВ В.А.,
ЯЦЕНКО Н.Г., ПАХОМОВ О.Н.

ИССЛЕДОВАНИЕ И РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ПАЙКИ
МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ДЕРЖАТЕЛЕЙ В АТМОСФЕРЕ
ВОДОРОДА ПРИ ПОНИЖЕННОМ ДАВЛЕНИИ

ГП НИИ электронной техники,
394042, Россия, Воронеж, Ленинский проспект, 119-а,
тел/факс (0732) 23-78-73, e-mail: vesta@vmail.ru

Особый
интерес
в
развитии
твердотельной
электроники
представляют мощные СВЧ-транзисторы. Одним из эксплуатационных
требований
мощных
СВЧ-транзисторов
является
обеспечение
эффективного отвода рассеиваемой мощности. С этой целью в
конструкции
мощных
СВЧ-транзисторов
используют
металлокерамические корпуса. Создание корпуса в производстве мощного
СВЧ-транзистора является достаточно сложной и важной технологической
задачей.
Целью данной работы является разработка технологии пайки
металлокерамических
держателей
корпусов
СВЧ-транзисторов
в
атмосфере водорода при пониженном давлении. В работе:
1) разработана схема газораспределения установки для пайки при
пониженном давлении с подачей водорода в один канал;
2) проведён расчёт влияния параметров отжига на количество
водорода диффундирующего в никелевые слои;
3) определены оптимальные условия пайки на основании вариации
режимов и атмосферы пайки;
4) проведён анализ структуры припоя и паяных швов при
одностадийной пайке.
На основе проведённых исследований разработана опытная
технология пайки металлокерамических держателей корпусов мощных
СВЧ-транзисторов.