-
1




2. Si-SiO2
.., ..

3.
.., ..

4. -
..

5.
.., .., .., .

6. , -
.., .., .., ..

7.
.., .., .., .., ..

8.
.., .., .., ..

9.
..

10. -
..

11. - -
.., ..

12.
.., .., ..

13.
.., .., ..

14.
..

15.
..

16. - - Si-SiO2
.., .., ..

17. - SI-SIO2
.., .., ..

18. LDD N- 0.5
.., .., ..

19. 20 p-Si
.., ..

20.
.., .., .., ..

21. ,
.., ..

22. AlInGaPAs/GaAs -
.., .., .., .., ..

23.
.., .., ..

24. In Ga As Sb P-Ga Sb
.., .., .., .., ..

25. 100
.., C .., ..

26.
.., .., ..

27.
.., .., ..

28. a-SiGe:H
.., .., .., .., ..

29. a-SiC:H,
.., .., ..

30.
.., ..

31. HCL ,
.., .., ..

32.
.., .., ..

33. CDS-CDSE,
.., .., ..

34. -
.., .., ..

35.
.., .., .., ..

36. -
.., ..

37.
.., .., .., ..

38. ˨
.., .., ..

39.
.., .., ..

40. -
.., .., .., .., .., .., ..

41.
.., ..

42.
.., .., .., .., .., ..

43. Au/Ni/AuGe/GaAs
.., .., ..

44.
.., ..

45. Ĩ
..

46. -
.., ..